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《透射电子显微镜校准规范》征求意见

  透射电子显微镜(简称“透射电镜”)是把经加速和聚集的电子束投射到具有薄区的试样上,电子束穿透试样并与之作用,形成明暗不同的影像或衍射花样,并在放大、聚焦后在成像器件上显示出来。透射电镜的分辨率极高,能够同时获得样品的显微形貌、尺寸、化学成分、晶体结构等信息,在纳米材料、生物医药、新能源等领域中被广泛应用。

  由于磁透镜和电子枪的电流随时间的变化等因素使得透射电镜的测量长度值会产生误差,有些值的误差可达到10%,影响测量结果准确性。因此,迫切需要建立透射电镜的量传体系,为纳米技术领域的精准测量提供技术保障。

  本规范主要依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》进行编制,JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》、JJF 1094-2002《测量仪器特性评定》共同构成支撑校准规范制定工作的基础性系列规范。

  本规范为首次制定,主要技术内容和计量特性参考了JJG(教委)011-1996《透射电子显微镜检定规程》和GB/T 34002-2017《微束分析透射电子显微术用周期结构标准物质校准图像放大倍率的方法》的部分内容。

  本规范按照JJF 10712010《国家计量校准规范编写规则》的要求制定透射电子显微镜校准规范,在内容和格式上与JJF 10712010保持一致。校准规范的具体内容有范围、应用文件、术语和定义、概述、计量特性、校准条件、校准项目和校准方法、校准结果的表达、复校时间间隔等。

  本规范参考JJG(教委)011-1996《透射电子显微镜检定规程》和GB/T 34002-2017《微束分析 透射电子显微术 用周期结构标准物质校准图像放大倍率的方法》,确定透射电子显微镜4项计量特性,分别为测长示值误差、测长重复性、正交性误差和漂移速率。针对每一校准项目,规定了使用的标准样品,明确了相应的校准操作。

  本规范中的技术指标和校准方法均进行了实验验证;依据JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》对仪器测长示值误差测量结果的不确定度进行分析,进一步验证了所采用的测量方法合理、可行。

  本规范是针对透射电子显微镜校准制定的计量技术规范。本规范适用于透射电子显微镜的校准。(更多详情请见附件)

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